主要特點
玻璃金屬密封技術 (GTMS)
接腳與底座採用玻璃絕緣體燒結密封,氣密性可靠。
可自訂的引腳佈局
引腳數量和佈局可靈活定制,以適應不同的電路。
優異的氣密性
密封性符合高可靠性標準,為內部組件提供長期保護。
不銹鋼底座結構
不銹鋼底座結構堅固,具有抗衝擊、抗振動的特性。
氣體流量測量
適用於各種氣體流量計的核心封裝。
工業製程控制
適用於工業製程氣體流量控制系統。
實驗室儀器
適用於實驗室精密氣體流量測量設備。
靈活的引腳定制
引腳佈局可靈活調整,滿足各種電路設計需求。
成熟的GTMS流程
以成熟的玻璃金屬密封技術平台為後盾。
可靠的密封保護
長期保護內部組件免受環境影響。
氣體流量計的工作原理是為氣體流量感測元件提供電氣互連和密封保護。底座採用不銹鋼材質;玻璃絕緣插腳透過燒結製程連接至底座,形成密封連接。
氣體流量計內部感測元件安裝在底座的安裝面上,並透過焊線與相應的引腳連接。
底座與流量計外殼焊接在一起,形成密閉封裝結構,確保內部感測元件不受被測氣體和外部環境的侵蝕,確保流量計長期穩定的測量精度。
| 參數 | 規格 |
|---|---|
| 材料 | 可伐合金(Kovar)或不鏽鋼 |
| 過程 | GTMS |
| 溫度等級 | 高熱穩定性 |
| 氣密性 | ≤1×10⁻⁹Pa·m3/s |
| 電氣絕緣 | >5000MΩ(直流100V) |
| Dimensions | 可客製設計 |
| 包裝 | 標準包裝 |
| 申請 | 氣體流量測量、工業製程控制、實驗室儀器 |