壓力感測芯-3

主要特點

• 玻璃-金屬密封技術

  腳位與底座採用玻璃燒結密封，氣密性可靠。

• 壓力傳導結構

  底座整合導壓結構，方便壓力感測。

• 可客製設計

  結構和引腳佈局可根據客戶要求自訂。

申請

• 壓力感測器

  適用於壓力感測器晶片的核心封裝。

• 工業控制

  適用於工業壓力控制系統中感測元件的封裝。

產品亮點

• 成熟的GTMS流程

  以成熟的玻璃金屬密封技術平台為後盾。

• 高密封可靠性

  長期保護在惡劣環境下運作的敏感元件。

它是如何運作的

此壓力感測器接頭由 6 個 Kovar 合金銷和一個不銹鋼底座透過玻璃金屬密封技術燒結成一體而成。玻璃絕緣體實現引腳之間的電氣隔離和氣密密封。壓力感測晶片安裝於底座的感測面上。

底座設計有導壓通道；外部壓力透過此通道作用於壓敏元件，引起敏感元件電阻、電容或頻率的變化，從而實現壓力訊號的偵測。帽蓋與底座焊接在一起後，形成密封腔體，保護內部敏感元件免受環境介質的侵蝕。

產品參數