1. 來料檢驗與預處理
氣密包裝的品質始於原料。三種芯材類型的檢驗標準:
金屬外殼 -可伐合金外殼需要驗證化學成分(Fe:53%,Ni:29%,Co:17%),對晶粒尺寸和尺寸公差進行取樣,並確認沒有加工裂縫。
玻璃/陶瓷 -玻璃料需要驗證軟化點和CTE; Al2O₃ 陶瓷需要驗證純度 (≥96%) 和密度。傳入的材料必須經過清潔和脫脂,然後乾燥以備後用。
金屬銷 -檢查表面光潔度、直線度和直徑公差;任何表面刮痕都可能成為洩漏的起點。
預處理決定了所有後續密封的成功——如果表面不乾淨,密封將無法保持。
2. 密封、表面處理和最終檢驗
密封工藝是核心:GTMS在燒結爐中進行,CTMS在釬焊爐中進行。封孔後進行表面處理:先鍍鎳,後鍍金,以確保可焊性和耐腐蝕性。
最終檢查並行運行三個門:
Gate 1 — 氣密測試。
2號門-目視檢查,檢查密封面是否有裂痕、氣泡和變色。
Gate 3-尺寸和電氣性能抽樣檢驗;引腳間距和絕緣電阻必須符合規格。
只有通過這三個關口的產品才是合格的產品。從原料到成品,每一步都有標準、有記錄、可追溯。
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[詞彙表]
1. 可伐合金:鐵鎳鈷合金(Fe:53%/Ni:29%/Co:17%),其CTE與硼矽酸鹽玻璃相匹配; GTMS 中最常用的金屬
2. Al2O₃陶瓷(Alumina Ceramic) :氧化鋁陶瓷;純度≥96%,具有出色的絕緣性和機械強度,使其成為 CTMS 中最常用的陶瓷
3. 絕緣電阻:接腳與外殼之間的電阻,是評估封裝絕緣性能的關鍵電氣參數